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无尘车间的正压值
国内外相关标准对无尘车间的正压值都作了规定。例如美国联邦标准FS-209b中规定无尘车间与任何相邻的低洁净度区域之间的小正压差为13Pa（0.05in水柱），美国宇航局标准NASA NHB 5340.2的规定值与FS-209b相同。
我们知道，洁净室可以通过送风系统达到自净的目的，但是通过循环风系统只能去除一部分污染，仍会有大量的污染物在重力作用和布朗运动的作用下造成堆积。堆积在表面的污染物并不是静止不动的，污染物会通过表面直接或通过空气和人员等媒介间接地与产品发生“接触”，这种“接触”就会对产品造成污染，导致产品不良。 此时，对洁净室进行定期的清洁维护就显得非常有必要了。我们进行清洁维护的目的首先在于去除污染，已达到洁净室设计建造时预期的洁净度，但终还是为了保护我们的产品不受污染，提高产品的优率。因此，我们可以将洁净室清洁维护定义为：“从洁净室内或洁净区内重要性各不相同（对洁净度而言）的表面，释放出所有不希望的污染物，并把它们收集起来清除掉。”
首先对过滤器进行检查：过滤器是净化工程的核心部分，负责对空气的净化，所以对过滤器的检查是十分必要的。实用扫描法对过滤器进行检查，要对其边框和断面进行捡漏。针对高效过滤器扫描法有两种，分别是检漏仪法和粒子计数器法。对于超高效过滤器，扫描法有凝结核计数器法和激光粒子计数器法两种。
下面简单介绍一下检漏仪检漏。
1、将净化工程系统运行，风速设置在设计风速的80-120%间。
2、如果有多台过滤器，每次只实用暴露一台过滤器。
3、在过滤器的正前方检测上风侧的浓度。
4、对于高效过滤器，当检漏仪表为对数刻度时，上风侧气溶胶浓度应超过仪表至小刻度的104倍。
其次对静压差进行检测：
1、将室内所有的门关闭时，从里面的房间依次向外测定。
2、对于洁净度高于100级的单向流(层流)无尘车间，还应测定在门开启状态下，离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。
对风量和风速的检测：
1、风量风速检测必须首先进行，净化空调各项效果必须是在设计的风量风速条件下获得。
2、风量检测前必须检查风机运行是否正常，系统中各部件安装是否正确，有无障碍(如过滤器有无被堵、挡)，所有阀门应固定在一定的开启位置上，并且必须实际测量被测风口，风管尺寸。
