我们知道,洁净室回风,洁净室可以通过送风系统达到自净的目的,但是通过循环风系统只能去除一部分污染,仍会有大量的污染物在重力作用和布朗运动的作用下造成堆积。堆积在表面的污染物并不是静止不动的,污染物会通过表面直接或通过空气和人员等媒介间接地与产品发生“接触”,10000级洁净室,这种“接触”就会对产品造成污染,导致产品不良。 此时,对洁净室进行定期的清洁维护就显得非常有必要了。我们进行清洁维护的目的首先在于去除污染,已达到洁净室设计建造时预期的洁净度,但终还是为了保护我们的产品不受污染,提高产品的优率。因此,我们可以将洁净室清洁维护定义为:“从洁净室内或洁净区内重要性各不相同(对洁净度而言)的表面,释放出所有不希望的污染物,并把它们收集起来清除掉。”
洁净室技术参数为:洁净度级别10000级,洁净室,温度22℃±2℃,湿度55%±5%,照度≥300LX,噪声≤65dB (A)。现根据有关规范和现场实际情况,制定如下验收方案。
一、洁净度的检测
1. 测定前,净化空调系统连续运行至少24小时。
2. 测定在静态下进行,测试人员必须穿戴好洁净服装。
3. 测试仪器为激光尘埃粒子计数仪,型号Y09-A。
4. 测定点高度距地面1~1.2m。
5. 测定点数的确定,根据国家有关标准,少采样点数为,NL=A0.5,其中A为无尘室面积(㎡),根据计算少采样点为NL=38,本次验收设计采样点为87个,具体采样点详见洁净度检测点平面图。
6. 每个测定点每次采样时间为1分钟,每个点测试3次,取平均值。平均含尘浓度符合洁净度万级标准为合格。
二、温湿度的检测
1. 测定前净化空调系统应连续运行至少24小时。
2. 对恒温恒湿要求,根据温湿度波动范围的要求,测定宜连续进行8~48小时,每次测定间隔时间不大于30分钟。
3. 测试点距地面1~1.5m ,万级洁净室,交错布置,距外墙表面应大于0.5米。
4. 测点数,根据有关规范,面积≤50㎡,测点数为5个,每增加20~50㎡,增加3~5个点。本次验收设计采样点为130个。
详见温湿度检测点平面图。
5. 测试仪器为温湿度仪或棒状酒精温度计。
6. 90%以上的测点达到的偏差值在设计参数内,则检验为合格。
三、室内噪声的检测
1. 测噪声仪器为数字式声级计,一般只测A声级。
2. 测量位置距地面1.5米高,测试点位详见噪声检测点平面图。
3. 各点≤65dB(A)为合格。
四、室内照度的检测
1.检测用照度仪(TES1330A) 测定。
2.测点平面离地面0.8~1.0m,按2m间距布置,测点距离墙面应不小于1.0m。测试点位详见照度检测点平面图。
3.90%以上的测点值在设计值内,则检验为合格。